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國(guó)產(chǎn)自主研發(fā)熱式氣體流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

國(guó)產(chǎn)氣體流量計(jì)自主研發(fā)MFC MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

高精度氣體質(zhì)量流量控制器MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

國(guó)產(chǎn)替代熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

國(guó)產(chǎn)替代自主研發(fā)微小氣體流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

自主研發(fā)氣體質(zhì)量流量計(jì)流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細(xì)管時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化 來測(cè)量氣體質(zhì)量流量，通過電橋?qū)囟葓?chǎng)的變化轉(zhuǎn)化為電信號(hào)并經(jīng)過電 路放大、濾波處理，處理后的信號(hào)采集進(jìn)處理器芯片，再通過氣體流量 外標(biāo)法和溫壓補(bǔ)償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實(shí)氣體流量值。