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質(zhì)量流量控制器 MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

微小氣體質(zhì)量流量計MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

MFC300 氣體數(shù)顯流量控制器系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

高精度氣體流量控制器MFC330系列是熱式氣體質(zhì)量流量控制器。由質(zhì)量流量傳感器、分流結(jié)構(gòu)、高精度比例閥和運放電路等部件組成。

愛拓利AITOLY是一家質(zhì)量流量計和控制器的專業(yè)研發(fā)制造商。愛拓利專注于微小流量測量與控制，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的傳感器、高精度比例閥等，研發(fā)生產(chǎn)的質(zhì)量流量計及流量控制器，在工業(yè)和科學(xué)領(lǐng)域已穩(wěn)定運行十?dāng)?shù)年。目前主營產(chǎn)品有熱式氣體質(zhì)量流量控制器MFC300 和MFC330，皂膜流量標(biāo)準(zhǔn)裝置等。

MFC300 氣體質(zhì)量流量計廠家系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。